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電子級氫氟酸

分子式:HF
分子量:20.01

檢測項目 EL級 UP級 UP-S級 UP-SS級
含量,% 49+0.5 49+0.5 49+0.5 49+0.5
色度Color,黑曾 10 10 7 7
硅氟酸(H2SiF6)w/(mg/kg) 50 50 30 30
氯化物(Cl)w/(mg/kg) 5 5 0.2 0.05
硝酸鹽(NO3)w/(mg/kg) 3 3 0.1 0.05
磷酸鹽(PO4)w/(mg/kg) 1 1 0.1 0.05
硫酸鹽(SO4)w/(mg/kg) 5 5 0.2 0.05
鋁(Al)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
砷(As)w/(μg/kg) 200 10 1 0.1
硼(B)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鋇(Ba)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鈹(Be)w/(μg/kg) 20 5 1 0.1
鉍(Bi)w/(μg/kg) 20 5 1 0.1
鎘(Cd)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1
鈣(Ca)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鉻(Cr)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
鈷(Co)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
銅(Cu)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
鎵(Ga)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
鍺(Ge)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
金(Au)w/(μg/kg) 20 5 1 0.1
鐵(Fe)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鉛(Pb)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1
鈦(Ti)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
銻(Sb)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1
鋰(Li)w/(μg/kg) 20 5 1 0.1
鎂(Mg)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
錳(Mn)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1
鉬(Mo)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鎳(Ni)w/(μg/kg) 50 10 1 0.1
鉀(K)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
銀(Ag)w/(μg/kg) 20 5 1 0.1
鈉(Na)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鉑(Pt)w/(μg/kg) 100 10 1 0.1
鍶(Sr)w/(μg/kg) —— 10 1 0.1
鉈(Tl)w/(μg/kg) —— 10 1 0.1
錫(Sn)w/(μg/kg) 20 10 1 0.1
礬(V)w/(μg/kg) —— 10 1 0.1
鋅(Zn)w/(μg/kg) 50 10 10 10
顆粒(≥1.0μm)個/ml 25 —— —— ——
顆粒(≥0.5μm)個/ml —— 25 5 ——
顆粒(≥0.2μm)個/ml —— —— —— 20

性狀:
無色透明溶液,有強烈刺激性氣味,劇毒。并有強烈的腐蝕性。
用途:
電子化學品用于超大規模集成電路芯片,太陽能電池,LED和TET-LCD面板制造過程的蝕刻和清洗,原子能工業化學試劑。
貯存:
應貯存于通風良好的庫房中。
運輸:
運輸中作為一級無機酸性腐蝕物品。 運輸中嚴禁受潮、受熱和雨淋。裝動時應輕裝、輕卸、防止撞擊。
包裝:
用聚乙烯塑料桶裝,20L、200L、1000L,或依用戶要求充裝。

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