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電子級六氟化硫

分子式:SF6
分子量:146.05

項        目

國  標
GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量(體積分數)/10-2         ≥

99.999

(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分數)/10-6        ≤

2.0

氮(N2)含量(體積分數)/10-6            ≤

2.0

四氟化碳(CF4)含量(體積分數)/10-6         ≤

1.0

一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10-6         ≤

0.5

二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10-6         ≤

0.5

甲烷(CH4) 含量(體積分數)/10-6         ≤

0.5

水分(H2O)的(體積分數)/10-6               ≤

3.0

酸度(以HF計)的質量分數/10-6         ≤

0.1

可水解氟化物(以HF計)的質量分數/10-6   ≤

0.8

雜質綜合的體積分數/10-6                ≤

10

顆粒

由供需雙方商定

性狀:
常溫常壓下為液態,它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點-50℃,升華點或沸點為-63.8℃,氣體密度6.16g/L(20℃,0.1MPa),在熔點時密度為2.51g/cm3,具有高的絕緣性和滅弧能力。
用途:
六氟化硫﹙SF6﹚是一優良的惰性絕緣氣體,電子工業用六氟化硫氣體大量用于在電子器件表面清洗、在TFT行業中應用量大。
貯存:
應存放于陰涼干燥、通風良好的地方。
運輸:
長途運輸時應附有GB19-73《危險貨物包裝標志》中指定標志。氣瓶充裝系數不大于1.33kg/L。
包裝:
SF6應充裝在潔凈、干燥的無縫高壓氣瓶中,氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可以根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。(一般情況下,使用氣瓶公稱壓力為15Mpa時,充裝系數<1.37ka/L。﹚

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